技术编号:7063062
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,所述致动器的致动材料由纳米碳材料薄膜组成;所述的纳米碳材料薄膜可以通过真空抽滤法、干燥成膜法、逐层沉积法或化学气相沉积法等制备获得。本发明以纳米碳材料薄膜为致动材料的电热式泵型致动器通过电致热原理加热密封气体,使气体受热膨胀继而引起致动薄膜的变形,具有低电压响应、温度变化小、输出应力大、响应迅速及稳定性好等特点,而且致动器的制备过程简单。专利说明一种基于纳米碳材料薄膜的电热式泵型致动器及其制备方 法 [0001] 本发明属于微型致动器,具...
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