一种高效率产生太赫兹波的波导型非线性晶体及制作方法技术资料下载

技术编号:7063178

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,晶体有周期反转非线性晶体圆棒,在周期反转非线性晶体圆棒的外周沉积有一层表面等离子体包层。周期反转非线性晶体圆棒是砷化镓晶体圆棒或是硒化镓晶体圆棒或磷化镓晶体圆棒。方法将2个以上的非线性系数为正的半导体外延片和2个以上的非线性系数为负的半导体外延片间隔放置,并利用直接键合技术制作出周期反转非线性晶体;采用刻蚀研磨方法将键合好的周期反转非线性晶体制作成直径为50~100微米的柱状结构的周期反转非线性晶体圆棒;在周期反转非线性晶体棒的表面,通过镀膜刻蚀方法沉积...
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