技术编号:7063389
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种低成本高可靠性芯片尺寸CIS封装,属于半导体封装领域。所述的封装结构包括1.盖板,在盖板正面制作有空腔结构;2.晶圆,其包含晶圆正面和晶圆背面;3.功能区和焊盘都分布在晶圆正面,其中焊盘分布在功能的周边,并实现导通;4.键合胶,位于盖板和晶圆之间,将二者键合在一起;5.在晶圆背面依次制作有钝化层、金属层、防焊层,通过上述结构组成的重分布线路层,将焊盘与焊球实现导通;7.焊球,位于重分布线路层上。本发明在降低封装结构厚度的同时,还减小了结构中...
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