技术编号：7063394
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种阵列基板及其制备方法、显示装置，涉及显示领域，解决了现有技术采用一道掩膜刻蚀形成第一过孔和第二过孔导致第一过孔长时间过刻，使薄膜晶体管失效的问题。一种阵列基板，包括形成在衬底上的第一薄膜晶体管和第一电极，第一薄膜晶体管包括栅极、栅绝缘层、有源层、刻蚀阻挡层，刻蚀阻挡层上形成第一过孔，刻蚀阻挡层和栅绝缘层在对应第一电极的位置形成第二过孔，第一过孔的最大孔径不大于第二过孔的最小孔径，在第一过孔的最大孔径小于等于8μm，第二过孔的最小孔径与第一过...
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