技术编号:7063985
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微结构绒面多晶硅太阳能电池制作工艺,包括对制绒前的硅片进行预清洗;将清洗后的硅片利用腐蚀液进行腐蚀制绒;进一步表面腐蚀制绒后的硅片进行表面处理;之后对硅片表面残余的液体进行中和清洗;最后进行烘干,即可得到微结构绒面的硅片。将制得的微结构绒面硅片进行扩散、去PSG、减反射膜制备以及上下电极的制备即可得到微结构绒面的太阳能电池。本发明的有益效果是,首先制绒前对硅片进行预处理,有助于去除硅片切割后表面残留的杂质等,有助于更好的形成绒面;其次在使用化...
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