技术编号：7064089
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供，方法包括步骤S1提供一包含若干设计图形的光刻版图，并将光刻版图分割成至少两个区域；步骤S2获取每个区域内的设计图形的总面积、总周长和区域面积；步骤S3计算得到每个区域内的设计图形的总面积与区域面积的比值；步骤S4不对比值位于[A，1]区间内的所有区域进行冗余图形的填充；对比值小于A的所有区域，按照总周长越小填充越大面积的冗余图形的原则对其进行填充，使任一区域的设计图形和冗余图形的总面积与该区域的区域面积的比值位于区间[A，1]内；其中，A的取值...
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