技术编号:7064186
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种UV处理机台工艺状态的日常检查方法,包括以下步骤步骤1.将一硅光片送入一UV处理机台中,并将所述UV处理机台的工艺温度稳定在一基准值;步骤2.采用一UV光对所述硅光片进行照射,以得到UV处理机台在一段时间内的温度变化率;步骤3.对所述温度变化率进行监控。使用所述检查方法的有益效果为1)及时监控工艺条件执行完毕就可得到检查结果;2)准确通过传感器直接收集温度数据,可排除光阻差别等中间环节带来的误差;3)低成本降低了硅片、光阻、量测等的物料及机时成本;4)...
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