非晶硅薄膜太阳电池的制备方法及非晶硅薄膜太阳电池的制作方法技术资料下载

技术编号:7065848

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本发明公开了一种非晶硅薄膜太阳电池的制备方法,所述制备方法包括提供一衬底,在所述衬底上形成前电极,所述前电极为掺杂氧化锌透明前电极;在所述前电极上形成接触层,所述接触层的形成材料为锗化物;在所述接触层上形成PIN结层;在所述PIN结层上形成背电极。相应的,本发明还提供了一种非晶硅薄膜太阳电池。本发明提供的制备方法在前电极和PIN结层之间插入一层厚度较薄的锗化物,可有效防止氧和锌进入非晶硅薄膜电池中,从而改善非晶硅薄膜的质量,提高电池的光电转换效率。专利说明...
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