技术编号:7069244
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体领域,更具体地,本发明涉及一种垂直定向的半导体器件及其屏蔽结构。背景技术半导体集成电路(IC)工业经历了快速发展。IC材料和设计的技术进步产生了多代1C,其中,每一代都具有比前一代更小且更复杂的电路。然而,这些进步增加了处理和制造IC的复杂性,并且对于将被实现的进步,需要IC处理和制造中产生同样的发展。在集成电路演进过程中,功能密度(即,单个芯片面积中互连器件的数量)通常都在增加,同时几何尺寸(即,可使用制造工艺形成的最小组件(或线))减小...
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