技术编号:7070927
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及基板刻蚀,特别涉及一种喷淋系统及湿法刻蚀装置,用于减少喷淋单元出现卡死现象的机率,提高刻蚀的均匀性。本实用新型公开的喷淋系统包括喷淋单元,固设于喷淋腔室顶壁上且沿垂直于各个所述喷淋管道的长度方向排列成一行的多个固定架,以及与喷淋单元或每个固定架中的摆动块传动连接、用于驱动喷淋单元往复摆动的动力装置。在该喷淋系统中,因喷淋单元是由多个固定架吊挂在喷淋腔室的顶壁上,使得每个固定架分担的喷淋单元的重量较小,因而可以减轻各运动部件(如第一转轴、第二转...
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