技术编号:7071390
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种吸附装置及干法刻蚀设备,用以降低玻璃基板与下部电极之间的作用力,减少玻璃基板的裂痕数量,从而改善玻璃基板的不均匀。所述吸附装置,包括上部电极、下部电极和基台,其中,所述装置还包括位于所述基台上的至少两个固定部件,用于与放置于所述下部电极上的玻璃基板的边缘接触,使所述玻璃基板固定于所述下部电极上。专利说明一种吸附装置及干法刻蚀设备[0001]本实用新型涉及显示器,尤其涉及一种吸附装置及干法刻蚀设备。背景技术[0002]在薄膜晶体管液晶显不...
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