基于lao衬底的非极性蓝光led外延片的制作方法技术资料下载

技术编号:7071915

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本实用新型公开了一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片,包括衬底,其中,所述衬底为LAO衬底,所述LAO衬底上依次设置有缓冲层、第一非掺杂层、第一掺杂层、量子阱层、电子阻挡层和第二掺杂层;所述缓冲层为非极性m面GaN缓冲层,所述第一非掺杂层为非极性非掺杂u-GaN层,所述第一掺杂层为非极性n型掺杂GaN薄膜,所述量子阱层为非极性InGaN/GaN量子阱层,所述电子阻挡层为非极性m面AlGaN电子阻挡层,所述第二掺杂层为非极性p型掺杂GaN薄膜。本实用新...
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