光接收元件、光接收器件以及光接收模块的制作方法技术资料下载

技术编号:7072576

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在本文讨论的实施例中公开的技术涉及ー种光接收元件、光接收器件以及光接收模块。背景技术图I为示出光接收元件100 (其为光接收元件的ー个实例)的主要部分的透视图。图2为沿图I的线II-II的光接收元件100的剖视图。图I和图2所示的光接收元件100包括置于衬底114上的光电探测部101以及置于同一衬底114上的波导部111。 波导部111具有这ー结构其中波导核心层112和上包覆层113从衬底114侧堆叠。波导部111具有包括上包覆层113和波导核心层112的...
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