技术编号：7073284
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种半导体晶圆定向系统，包括虚拟参考定向系统，设置于一晶圆背面；方向定位器，设置于一定位器平台中心，用于旋转晶圆；动态角度传感器，用于实时感应晶圆背面的虚拟参考定向系统，并将感应结果传输给一计算机判断系统；计算机判断系统，与动态角度传感器连接，且与方向定位器通信。通过设置虚拟参考定向系统标识晶圆的掺杂类型和晶向，提高晶圆的利用率；采用四个动态角度传感器同时对晶圆背部的虚拟参考定向系统进行感应，通过方向定位器和计算机判断系统达到对晶圆旋转角度的...
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