技术编号：7073720
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种能够进行高温检查以及低温检查的检查装置，更详细地说涉及一种能够节省使用于检查装置中的冷却装置的消耗能量的冷却装置的运转方法以及检查装置。背景技术例如图4所示，以往的检查装置具备加载室L，其用于输送半导体晶圆W ;探针室P，其用于对从加载室L输送的半导体晶圆W进行电特性检查；以及控制装置(未图示)，以往的检查装置构成为在控制装置的控制下，将半导体晶圆W从加载室L输送到探针室P，在探针室P内进行半导体晶圆W的电特性检查之后，使半导体晶圆W返回。如...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。