技术编号:7074741
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种用于将焊球焊接到晶圆的端子面的装置,其包括第一装置部,所述第一装置部用于操纵多个焊球并且用于将所述焊球配置成与所述晶圆的端子面的阵列对应的焊球阵列;第二装置部,所述第二装置部用于操纵所述晶圆并且用于将焊剂涂层涂布到所述晶圆的端子面;以及接合站,所述接合站用于将所述焊球阵列配置于所述晶圆的端子面的阵列,所述接合站被实现成所述第一装置部和所述第二装置部之间的接口。因而,该装置形成了特别紧凑的设计。专利说明用于将焊球焊接到晶圆的端子面的装置[0001 ] 本...
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