技术编号：7076571
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。OLED器件制造设备，属于有机光电子产业，为解决OLED中的有机材料和金属电极对水、氧敏感性和各部分单一制备的问题，该设备中过度单元通过闸板伐连通手套箱和装片单元，装片单元再通过闸板伐传入样片传递转换单元，样片传递转换单元前后左右，各有连接口，分别通过闸板伐连接到器件制备单元、磁控溅射单元和电子束单元；解决了OLED器件从玻璃样品进入，在真空状态下，直接出产成品的过程，该设备采用“团簇式”结构，不但节约了空间，而且通过传递交换室使磁控溅射单元、器件蒸发单元...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。