技术编号：7076779
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种校准模具，用于校准机械手与晶圆槽位之间的传送位置，所述校准模具至少包括由两个纵臂和连接于该两个纵臂之间的横臂构成的U型块；所述两个纵臂的侧壁外分别具有与所述U型块开口端贯通的凸台；所述凸台与所述横臂交汇处设有挡台；所述两个纵臂的侧壁内、所述凸台水平线以下分别设有开口彼此相对的凹槽；所述凹槽分别与该U型块的开口端以及组成该U型块的横臂贯通。本实用新型的所述校准模具根据机械手尺寸使其与晶圆槽位精确定位，在机械手传送晶圆的过程中，使得晶圆传送位...
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