技术编号:7077087
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及底栅型薄膜晶体管、其制造方法、以及诸如显示装置的电光装置。更具体而言,本发明涉及设置有绝缘膜作为蚀刻阻止体(stopper)的底栅型薄膜晶体管、其制造方法以及显示装置。背景技术近年来,使用含有ZnO作为主要成分的透明导电氧化物多晶薄膜作为沟道层的薄膜晶体管(TFT)已被积极开发(参见日本专利申请公开No. 2002-76356)。薄膜可以在低温下形成,并且对可见光是透明的,因此能够在诸如塑料板或膜的衬底上形成柔性透明TFT。此外,公开了具有使用Z...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。