技术编号:7078699
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种生长在金属铝衬底上的AlN薄膜,其包括金属Al衬底、生长在金属Al衬底上的AlN氮化层以及生长在AlN氮化层上的AlN薄膜;所述金属Al衬底以(111)面偏(100)方向0.5~1°为外延面,晶体外延取向关系为AlN(0001)//Al(111)。本实用新型所述的生长在金属铝衬底上的AlN薄膜具有质量高、成本低等优点。专利说明一种生长在金属铝衬底上的AIN薄膜 [0001]本实用新型涉及AlN薄膜,具体涉及一种生长在金属铝衬底上的...
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