技术编号:7080180
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种背钝化层结构,该结构采用Al2O3薄膜与TiO2薄膜的叠层膜结构作为背钝化层结构,由于TiO2薄膜可以使用喷涂法由钛酸丁酯加热分解制得,具体可通过将硅片放置在加热基板上,将钛酸丁酯均匀喷涂在硅片上面,钛酸丁酯经高温分解而形成TiO2薄膜;因此其制备非常简单,不需要复杂的制备设备。与目前制备SiN薄膜的PECVD真空镀膜设备相比较,其设备占地空间小、设备结构简单、价格便宜。因而为常规产线进行背钝化电池改造提供了可能。同时,还公开了一种背钝...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。