技术编号：7080393
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的形态涉及静电吸盘，涉及如下静电吸盘，其能够确实地确保接通到陶瓷电介体基板内部的电极，同时能够将由于对陶瓷电介体基板进行穿孔而引起的強度降低和电绝缘可靠性降低控制到最小限度。背景技术氧化铝等的陶瓷基体材料之间夹入电极，通过烧成处理制作的烧结陶瓷制的静电吸盘如下，在内置的电极上外加静电吸附用电力，通过静电力来吸附硅片等基板。在这样的静电吸盘中，为了向内部电极供给静电吸附用电力，对接通于电极的导体的一部分从陶瓷基体材料的静电吸附面的相反侧的面露出的静电吸...
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