技术编号:7081906
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器,该传感器包括基底,其表面位于X方向和Y方向确定的平面内,基底的表面具有内凹的沟槽;磁通量集中器,位于沟槽的侧壁上;第一介质层,填充沟槽并覆盖磁通量集中器以及基底的表面;位于第一介质层上的第一磁传感器,检测方向为该X方向;位于第一介质层上的第二磁传感器,检测方向为该Y方向;位于第一介质层上的第三磁传感器,检测方向落入X方向和Y方向确定的平面内;其中,第三磁传感器和磁通量集中器共同形成了检测方向为Z方向的Z方向...
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