一种x射线检测装置的阵列基板及其制造方法技术资料下载

技术编号:7082550

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本发明涉及数字X射线影像检测技木,特别是涉及ー种X射线检测装置的阵列基板及其制造方法。背景技术薄膜晶体管技术的快速发展,带动了有源矩阵X射线检测技术的应用,X射线检测主要是平面检测,近百年来X射线摄像都是使用软片记录光影像。早在20世纪70年代初期数字医学X射线摄像的概念已经被提出,随着数字医学影像传输与影像储存传输系统的革命性发展,直接带动数字X射线摄像技术的应用。有别于电荷稱合元件(Charge Coupleddevice, CCD)与互补金属氧化物半...
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