技术编号：7083588
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型揭示了一种晶圆装卸装置，包括装卸腔室；用于传输所述晶圆的传输装置，设置于所述装卸腔室内；用于将所述晶圆传输出所述装卸腔室的传输窗口，设置于所述装卸腔室的侧壁上；可移动的遮挡件，设置于所述装卸腔室内；所述传输装置将所述晶圆传出所述传输窗口时，所述遮挡件移动至正对所述传输窗口处。如果有被粘住的晶圆随所述传输装置一起移动，被粘住的晶圆被所述遮挡件挡住，从而避免粘住的晶圆掉落在工艺机台内，降低生产成本。专利说明晶圆装卸装直以及倒片机台、工乙机台 [...
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