技术编号：7083691
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能硅片制造工艺用的等离子设备，尤其是一种太阳能硅片制造工艺用传输载板。背景技术太阳能电池硅片在电池制造工艺中有一系列生产工序，其中有等离子干法刻蚀， 等离子成膜(PECVD)等。为了增加单位时间内硅片的处理量，一般用大面积处理工艺来完成。也就是说，很多娃片(125x125mm或156x156mm)可以同时放置在一块载板上。处理这种硅片的设备通常用平板式电极产生等离子体。载板可以静态放置在其中的一个电极上， 直到工艺完成后再取出来(跳跃式)，载...
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