技术编号:7084746
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种高介电常数糊剂组合物,所述高介电常数糊剂组合物用于形成内 藏于半导体装置用安装基板、晶圆级封装(Wafer-level Package)、无源部件等中的电容器 用层间绝缘膜。背景技术由于电子设备的小型化、轻质化及低成本化,使得模块或封装安装的高密度化不 断进展。作为高密度安装的方法之一,有在模块基板内、安装基板内或制作晶体管后的半导 体晶片上装入电容器等无源部件的方法。由于电容器的静电电容与层间绝缘膜的介电常 数成比例,所以形成介电常数大的层...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。