高介电常数糊剂组合物及使用其的电介质组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:7084746

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本发明涉及一种高介电常数糊剂组合物,所述高介电常数糊剂组合物用于形成内 藏于半导体装置用安装基板、晶圆级封装(Wafer-level Package)、无源部件等中的电容器 用层间绝缘膜。背景技术由于电子设备的小型化、轻质化及低成本化,使得模块或封装安装的高密度化不 断进展。作为高密度安装的方法之一,有在模块基板内、安装基板内或制作晶体管后的半导 体晶片上装入电容器等无源部件的方法。由于电容器的静电电容与层间绝缘膜的介电常 数成比例,所以形成介电常数大的层...
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