技术编号：7085197
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种晶圆切割传送装置，该晶圆切割传送装置包括装置本体、容置于所述装置本体内的控制组件、装设于所述装置本体上的横向运动结构组件、装设于所述横向运动结构组件上的垂直运动结构组件，所述垂直运动结构组件包括吸盘结构、至少三个装设于所述吸盘结构上的用于将晶圆吸起的吸盘，所述横向运动结构组件可相对于所述装置本体直线来回运动，所述垂直运动结构组件可相对于所述装置本体上下移动。该晶圆切割传送装置可以传送同步、且在速度稳定的情况下对晶圆进行传送，从而使得生产...
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