技术编号:7086109
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开一种蓝宝石晶圆图案化制程黄光涂布前清洗装置,由电机、真空吸附台、底部喷头、顶部喷头、侧喷头和刷头组成,真空吸附台安装在电机的输出端,底部喷头安装在真空吸附台下方的侧边,顶部喷头以可水平移动的方式安装在真空吸附台上方,侧喷头安装在真空吸附台上方的侧边,刷头也以可水平移动的方式安装在真空吸附台上方。本实用新型可以避免交叉污染的现象,达到清洗的效果,进而提高了后续图案化制程及MOCVD制程的成品率及良率。专利说明一种中大尺寸蓝宝石晶圆图案化制程黄光...
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