一种半导体用键合丝的制作方法技术资料下载

技术编号:7086475

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本实用新型提供一种半导体用键合丝,该键合丝采用双层涂覆的银线,其中核心层采用银线,核心层外第一涂覆层为吸附有氢的钯涂覆层,第一涂覆层外的第二层涂覆层为金涂覆层。所吸附的氢按重量比计算在键合丝中的含量为5-10ppm。本实用新型改善了键合丝的材料性能,提升了线材抗硫化、氧化的能力,提高在N2气氛下的球焊时的结合面积和结合强度,从而提高了线材的导电能力和可靠性。专利说明—种半导体用键合丝 [0001]本实用新型涉及集成电路材料领域,具体涉及一种半导体用键...
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