技术编号:7087021
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及新型材料石墨烯及半导体工艺,特别涉及,通过减小金属与石墨烯欧姆接触来显著提高晶体管的直流特性及小信号特性。 背景技术石墨烯是一种由碳原子构成、具有单原子厚度的二维蜂窝状晶格结构。它以优异的特性受到了大家的广泛关注,其中他的电学特性更有突出的优势它被认为是目前迁移率最高的材料,迁移率是Si材料的100倍。它的饱和漂移速度是Si的6-7倍,它的费米速度是光速的1/300。因此应用石墨烯作为沟道材料的晶体管能实现更高的工作频率,被认为是太赫兹领域的重要...
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