技术编号：7087437
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种紧凑型布局的薄膜沉积设备，主要解决现有半导体薄膜沉积设备体积庞大，占地空间大及洁净间资源浪费等问题。它包括晶圆存储组件，在晶圆存储组件中放置晶圆，作为晶圆传入、传出过程中的堆栈及存储区域，主传片室中设有传片机械手，由机械手进行从晶圆存储组件取送片或从副传片室取送片操作，副传片室中有直线式传输机构对反应室进行晶圆的取送片操作。并可根据不同工艺流程要求挂载其他形式或功能的腔室。采用多边形组件合理布局，结构紧凑，通过对各组件所需最小空间尺寸的计算，整合各模块...
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