晶圆级指纹识别芯片封装结构的制作方法技术资料下载

技术编号:7089332

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一种晶圆级指纹识别芯片封装结构,包括衬底,所述衬底包括若干感应芯片区,所述衬底具有第一表面、以及与所述第一表面相对的第二表面,所述感应芯片区的第一表面包括感应区;位于衬底第一表面的覆盖层;位于所述衬底的感应芯片区内的插塞结构,所述插塞结构的一端与所述感应区电连接,且所述衬底的第二表面暴露出所述插塞结构的另一端。所述晶圆级指纹识别芯片封装结构简单,对感应芯片的灵敏度要求降低、应用更广泛。专利说明晶圆级指纹识别芯片封装结构 [0001]本实用新型涉及半导...
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