一种芯片倾斜堆叠的圆片级封装单元的制作方法技术资料下载

技术编号:7089541

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本实用新型公开了一种芯片倾斜堆叠的圆片级封装单元,包括水平芯片、第一倾斜芯片、第二倾斜芯片、粘结Chip0、Chip1和Chip2的芯片贴膜DAF或胶膜FOW、包裹水平芯片、第一倾斜芯片和第二倾斜芯片的硅胶层、重布线层、连接芯片焊盘和重布线层层的通孔、金属插塞及金属焊盘、金属焊球,支撑硅胶层形成重构晶圆的合金层及用于激光打标的覆盖层,第一倾斜芯片倾斜放置在水平芯片上,第二倾斜芯片平行放置在第一倾斜芯片上,所有芯片焊盘均通过金属插塞和金属焊盘与重布线层相连,...
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