一种自动快速甩干晶片的装置制造方法技术资料下载

技术编号:7092071

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本实用新型公开了一种自动快速甩干晶片的装置,包括桶体、陶瓷盘支架、托架旋转轴、支撑柱、导流平面、集水槽、排水口、桶盖和喷水-抽气系统。设计的导流平面利于清洗废水的收集。桶盖顶部设有喷水系统,利于水流全面覆盖晶片,桶盖顶部设有抽风系统,利于晶片表面迅速干燥。采用喷水-抽气系统为同一装置,设计和操作简单,节约空间,简化装置。侧壁设有集水槽,根据动力力学原理,便于离心水分的收集。集水槽下设有排水口,利于污水收集排出,保护晶片和环境。专利说明一种自动快速甩干晶片的...
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