技术编号：7092186
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种晶圆保护膜及其涂刷装置，晶圆保护膜形成于所述晶圆边缘；所述保护膜的成膜宽度范围为2～3mm；所述保护膜的厚度小于2.7微米，本实用新型在晶圆周边涂上一层具有一定抗拉强度,抗剪强度,及耐磨性的保护膜,从而对晶圆边缘起到保护作用，有效避免了运输途中颠簸可能导致的晶圆边缘产生裂纹或缺角,及边缘裂纹应力延伸致使的破片现象。本实用新型保护膜铺设于晶圆边缘,宽度小于3mm,不影响晶圆有效区域，并且保护膜成型于晶圆边缘上表面,不影响后续测试工序。专利说...
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