技术编号:7092324
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种接触电阻的测试结构,所述测试结构至少包括制作在衬底中的主测试结构和参考结构;所述主测试结构至少包括形成于所述衬底中的有源区;制作在所述有源区中的第一硅化物、第二硅化物以及第三硅化物;上述每一个硅化物表面制作接触插塞和电极;所述参考结构至少包括形成于所述衬底中的第四硅化物;分别制作所述第四硅化物两侧的第四接触插塞和第五接触插塞;分别制作在第四接触插塞和第五接触插塞表面的第四电极和第五电极。利用该测试结构可以获得硅化物和硅之间的接触电阻,并且...
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