具有嵌入式空气空隙的氮化镓二极管的制作方法技术资料下载

技术编号:7092397

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本实用新型公开了一种具有嵌入式空气空隙的氮化镓二极管,其中氮化镓二极管包括蓝宝石底衬、u-GaN层、n-GaN层、有源发光层和p-GaN层;其中蓝宝石底衬的上表面设置有若干图形,所有图形周期性排列分布;在蓝宝石底衬上面每个图形对应处均设有一个向下凹陷的凹孔洞,该凹孔洞使蓝宝石底衬上面与u-GaN层的下表面之间形成空气空隙。因此本实用新型有源发光层发出的光线被空气空隙反射回去,减少了进入蓝宝石底衬的光线,从而增强了氮化镓二极管的发光强度。专利说明具有嵌入式空...
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