技术编号：7095223
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种制作氮化物外延层、自支撑衬底与器件的晶圆结构，包括初始衬底、设在初始衬底表面的氧化物牺牲层和设在氧化物牺牲层表面的氮化物外延层。本新型提供的晶圆结构新颖，采用的牺牲层材料为即具有类纤锌矿晶体结构的氧化物，所选用的氧化物易于在化学溶液中分解，实现湿法刻蚀，为制作氮化物外延层、自支撑衬底或器件晶圆过程中所需的衬底剥离、衬底转移和晶圆键合等工艺技术提供了有利条件，同时也保证了氮化物外延材料具有较高的晶体质量。专利说明一种制作氮化物外延层、自支撑...
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