技术编号：7095343
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种全自动湿法擦片机，包括PLC控制系统、工作台、机械臂、转盘、滑轨、滚刷、硅片载槽和喷淋头，在工作台上设有转盘和硅片载槽，在工作台上位于转盘和硅片载槽之间设有机械臂，在转盘的上方设有滑轨，在滑轨上放有滚刷，在转盘的两侧设有喷淋头，喷淋头与供水系统相连，在转盘的下方设有吸盘，PLC控制系统分别与所述机械臂、转盘、滚刷和供水系统相连。通过机械臂代替人工取、放硅片的操作，并采用湿法操作，擦片力度更均匀，使生产产品具有高效、高质的优点，从而使硅片的...
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