一种晶圆级的垂直结构白光led芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:7097191

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本实用新型揭示了一种晶圆级的垂直结构白光LED芯片,该垂直结构白光LED芯片包括衬底,所述衬底具有第一表面和第二表面;外延层,所述外延层设置于所述衬底的第一表面上;金属电极,所述金属电极设置于所述外延层上并与所述外延层相连;荧光粉混合层,所述荧光粉混合层设置在所述外延层上。通过光刻将其金属焊盘电极以及划片道保护起来,之后通过涂覆荧光粉混合体固化最后通过减薄、研磨、抛光的方法得到所需要的荧光粉厚度层,之后去除光刻胶,得到晶圆级的垂直结构白光LED。本实用新型...
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