技术编号:7097927
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及包含氧化物半导体薄膜层的薄膜晶体管(TFT)、制造该薄膜晶体管的方法以及包含这样的薄膜晶体管的显示单元。背景技术已知由锌、铟、镓、锡或它们的混合物构成的氧化物(氧化物半导体)显示了卓越的半导体特性。因此,近年来一直在积极地研究将氧化物半导体应用于TFT作为有源矩阵显示器的驱动元件。在包含氧化物半导体的TFT中,表现出比包含非晶硅的现有TFT高10倍或更多的电子迁移率,还表现出良好的截止特性。因此,包含氧化物半导体的TFT被普遍预期将适用于大屏幕、...
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