技术编号:7098387
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于集成电路制造和平板显示领域,具体涉及一种新型氧化物薄膜晶体管及其制备方法 。背景技术随着集成电路制造和平板显示技术的发展,提高薄膜晶体管(TFT)的性能和降低其制作成本对促进平板显示的发展极为重要。目前,产业界各种显示用TFT器件和驱动电路的制备是以非晶硅(a-Si)和低温多晶硅(LTPS)技术为主。LTPS-TFT和a-Si-TFT的最大不同是导电特性和制备工艺。LTPS-TFT有较高的载流子迁移率,可提供充分的电流,可制备n型和p型TFT。但...
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