技术编号：7099147
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于检测将发生在晶片表面上的特定缺陷的检测方法，检测系统和检测程序。本发明特别地涉及一种使更可靠地检测特定缺陷成为可能的方法，以及用于实施该方法的检测系统和检测程序。背景技术在增加半导体器件的生产过程中的产量和可靠性方面，用于检测将作为半导体器件衬底的晶片的表面上的缺陷的检查技术变得异常重要。用于检测晶片表面上的各种缺陷的检查系统包括用于使用光学技术将缺陷作为对应于晶片表面上缺陷的位置的光点来检测而检查晶片表面的系统。 此类表面检查系统的例子...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。