一种具有电荷输运限制的高压发光二极管的制作方法技术资料下载

技术编号:7099429

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本发明涉及一种具有电荷输运限制的高压发光二极管,属于半导体光电子器件领域。背景技术近几年由于技术与效率的进步,LED应用越来越广。随着LED应用的升级,市场对于LED的需求朝向更大功率及更高亮度,即高功率LED方向发展。对于实现高功率LED,目前高压发光二极管的设计成为解决方案之一。高压发光二极管的关键技术第一在于深隔离槽,隔离槽的深度依不同外延结构而异,但需要刻蚀至衬底,目的在于将复数颗的晶胞独立开来,因此需要开发深刻蚀的制程技术。第二为绝缘层,若绝缘层...
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