技术编号:7101716
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般地涉及半导体领域,更具体地来说,涉及金属-氧化物-金属结构。背景技术现代电子设备(例如,笔记本电脑)包括各种存储器,以存储信息。每个存储单元会需要至少一个电容器以保留信息。根据惯例,金属-氧化物-金属(MOM)电容器能够为集成电路(例如,存储电路)提供合适的电容。单层MOM电容器可包括第一金属板、第二金属板和沉积在第一金属板和第二金属板之间的绝缘层。单层MOM电容器的电容与金属板的面积和绝缘层的介电常数成比例。为了提供更大电容同时保持MOM电容器...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。