技术编号：7101829
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于永磁薄膜，尤其涉及，在磁性微电子机械系统(Mag-MEMS)中具有良好的应用前景。背景技术永磁块体材料已得到了很广泛的应用，但随着器械尺寸的降低，在微米和纳米器械中块体材料就不再适用，这时候就需要永磁薄膜。永磁薄膜在磁性微电子机械系统(MEMS)和磁记录等方面具有重要而广泛的应用前景。而其中磁性MEMS是永磁薄膜最重要的应用领域。MEMS是利用微电子技术和精密机械加工技术，集微电子与机械为一体的系统。它是新近发展起来的多学科交叉的、全新的研究领域...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。