技术编号:7103441
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体装置以及用于制造半导体装置的方法。背景技术在本说明书中,半导体装置一般表示能够通过利用半导体特性来起作用的任何装置,并且电子光学装置、半导体电路和电子设备都包含在半导体装置的类别中。已经将注意力集中在用于借助于具有绝缘表面的衬底之上形成的半导体薄膜来形成晶体管的技术(该晶体管又称作薄膜晶体管(TFT))。晶体管已经应用于大范围的电子装置,例如集成电路(IC)或图像显示装置(显示装置)。硅半导体材料被广泛已知是用于可适用于晶体管的半导体薄膜的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。