技术编号：7104247
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将排出头以及喷嘴臂维持得洁净的，其中，所述排出头向半导体晶片、液晶显示装置用玻璃基板等薄板状的精密电子基板(下面简称为“基板”)供给处理液，所述喷嘴臂用于保持该排出头。背景技术以往，在基板的制造工序中使用如下的基板处理装置，S卩，在进行利用药液的药液处理以及利用纯水的冲洗处理等基板的表面处理之后，进行干燥处理。作为这样的基板处理装置，使用逐张地处理基板的单张式装置和多张基板统一处理的批量式装置。单张式的基板处理装置通常在进行了向旋转的基板表面供给...
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