技术编号:7104376
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池片的扩散方法,尤其涉及一种扩散时间较短的太阳能电池片的场强扩散方法。背景技术太阳能电池发电的原理是利用PN结的光生伏特效应将光能转换成电能。由于PN结是太阳能电池片的核心结构,PN结的结构直接影响着 太阳能电池片的性能,因此太阳能电池片的制作工艺中的扩散步骤对太阳能电池片的性能起着关键的作用。太阳能电池片的PN结的制作主要通过扩散工艺来完成。而目前无论是半导体行业、LED行业还是光伏行业的扩散工艺均采用高温扩散,每批次产品的扩散时间长达...
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